¿Cómo se distribuyen las grúas en una fábrica de semiconductores? Las cuatro fases del proceso: litografía, encapsulado y pruebas de obleas
Resumen en una frase:克鲁德重工为芯片半导体制造企业提供覆盖晶圆制造、光刻刻蚀、封装测试和辅助设施四大工段的起重机配置方案,适配0.125~10t起重量、6~24m跨度,整厂起重设备投资约20~300万元。晶圆区配置洁净型KBK(0.125~0.5t),光刻区使用超洁净不锈钢电动葫芦(0.25~1t),封测区配置防静电起重机(1~5t),辅助区使用LD型单梁(3~10t),满足半导体制造ISO 3~5级超洁净环境和微振控制的极高要求。
💠 芯片/半导体制造起重机方案
✅ 晶圆制造 | ✅ 光刻/刻蚀 | ✅ 封装工段 | ✅ 测试工段
半导体制造对洁净度(百级)、防微震和防静电的要求是工业领域中最高的。
场景1 晶圆制造
• 起重量:0.5t~3t,洁净型电动葫芦
• 百级洁净/无尘
• 防震/低振动
• 不锈钢/防静电
百级洁净 | 防震 | 无尘
场景2 光刻/刻蚀
• 起重量:2t~10t,洁净型桥式
• 精密设备安装
• 微震动控制
• 变频微动/对位
精密安装 | 微震动 | 变频微动
场景3 封装工段
• 起重量:1t~5t,LD型/洁净葫芦
• 设备维护起吊
• 模具更换/搬运
• 洁净10K~100K
设备维护 | 模具更换 | 洁净
场景4 测试工段
• 起重量:0.5t~2t,悬臂吊/葫芦
• 测试头维护
• 紧凑空间
• 洁净适用
测试维护 | 紧凑 | 洁净适用
Comparación de los parámetros de selección de las cuatro zonas
| Elementos de los parámetros | 晶圆制造 | 光刻/刻蚀 | 封装工段 | 测试工段 |
|---|---|---|---|---|
| Modelos recomendados | 洁净型葫芦 | 洁净型桥式 | LD型/洁净葫芦 | Grúa en voladizo/polipasto |
| Capacidad de elevación | 0.5t~3t | 2t~10t | 1t~5t | 0.5t~2t |
| Nivel de limpieza | 百级 | 百级/千级 | 10 000 | 10 000 |
| Requisitos especiales | 防震/低振动 | 微震动控制 | 设备维护 | 紧凑/灵活 |
| El plan de Krude | 防震洁净 | 微震动控制 | 洁净设备维护 | 紧凑洁净 |
半导体洁净间起重特点
晶圆制造和光刻区为百级洁净间,克鲁德重工的洁净型起重机采用全密封不锈钢结构+低发尘润滑系统,导轨做防腐蚀处理。精密设备安装(光刻机/刻蚀机)需要微震动控制。
Krude Heavy Industry: ventajas en el servicio
克鲁德重工深耕半导体制造行业起重领域多年,为晶圆厂、封测厂和光刻掩模厂提供满足ISO 3~5级超洁净环境要求的精密起重解决方案,产品通过百级洁净度认证和微振控制测试,在半导体行业积累了丰富的洁净室KBK系统安装经验。