Kran für die Ätzmaschinenmontage – Präzisionsmontage der Reaktionskammer

Die Ätzmaschine (Etch Tool) zählt zu den Kernanlagen der Halbleiterfertigung. Ihre Reaktionskammer (Chamber) wiegt in der Regel 500–3.000 kg, ist relativ voluminös und enthält empfindliche Elektroden, Gasdüsen und Vakuumdichtungen. Die Montagehalle für Ätzmaschinen muss die Reinheitsklasse ISO-Klasse 5 erfüllen (Partikel ≤3.520/m³ bei 0,5 µm). Der Kran darf beim Heben und Transportieren der Reaktionskammer keinerlei Metallabrieb oder Fettablösung verursachen.

Empfohlenes Modell: Reinraum-Brückenkran mit Elektrozug LH 5–16 t, Spannweite 10–25 m, Hubhöhe 6–10 m. Die Hauptstruktur besteht aus SUS316L-Edelstahl (nicht magnetisch); an den Kontaktflächen zwischen Laufrad und Kranschiene sind Polyurethan-Verschleißschutzpads angebracht (Reduzierung des Reibungskoeffizienten). Der Hubwerkbereich verwendet eine Edelstahlkette und einen TEFC-Motor ohne Lüfter (verhindert das Ansaugen und Wiederausstoßen von Partikeln). Alle Lagerdichtungen werden mit PFPE-Volldampf-Fett geschmiert (null Verdampfung, keine Verkohlung, kein Partikelabrieb).

Konfigurationspunkte: ① Zweigang-/Frequenzumrichter-Drehzahlregelung – Schnellgang 8 m/min (Leerlauf) + Kriechgang 0,3 m/min (Kammerausrichtung); ② Pendeldämpfung – beim Transport der Ätzkammer sind größere Pendelbewegungen unzulässig (Kollisionsgefahr mit empfindlichen Komponenten); empfohlen wird ein elektronisches Pendeldämpfungssystem (Restpendelwinkel ≤0,5°); ③ Überlastsicherung – Alarm bei 110 % der Nennlast, Abschaltung des Hubvorgangs bei 120 %. Die Reinraumkran-Lösung von Kelude Schwerindustrie ist serienmäßig mit einem Pendeldämpfungs-Steuerungssystem im Hubwerk ausgestattet und eignet sich besonders für den Mehrprozess-Transport großer Präzisionsmodule wie Ätzmaschinen.

Kran für die Dünnschichtanlagen-Montage – modulare Reinraumförderung

Dünnschichtanlagen (PVD/CVD/ALD) zeichnen sich durch einen modularen Aufbau aus – jede Prozesskammer, jedes Transfermodul, Stromversorgungsmodul und jede Vakuumpumpe kann separat montiert und anschließend zusammengeführt werden. Einzelmodule wiegen 200–1.500 kg, die Abmessungen liegen üblicherweise innerhalb von 1,5 m × 1,5 m × 2 m, und die Montagespalte zwischen den Modulen betragen nur 1–3 mm – dies stellt hohe Anforderungen an die Positioniergenauigkeit beim Heben und Transportieren. Die Montagehalle muss die Reinheitsklasse ISO-Klasse 6 aufrechterhalten (Partikel ≤29.300/m³ bei 0,5 µm).

Empfohlenes Modell: Reinraum-Brückenkran LH 5–10 t + BZD-Edelstahl-Kragarm 1–3 t (arbeitsplatzbezogene Ergänzung). Der LH-Brückenkran übernimmt den Transport zwischen den Arbeitsplätzen (vom Lagerregal zum Montagetisch), der BZD-Auslegerkran deckt die Präzisionspositionierung rund um den einzelnen Montageplatz ab. Der Schwenkradius des Auslegerkrans beträgt in der Regel 3–5 m; die lichte Höhe unter dem Kragarm wird mit dem Hauptkran koordiniert (Kollisionsvermeidung).

Preisreferenz: Reinraum-Brückenkran LH 10 t/18 m in SUS316L-Ausführung ca. 22.900–44.500 EUR pro Stück; BZD-Edelstahl-Kragarm 1 t/3 m ca. 3.800–7.600 EUR pro Stück. Kelude Schwerindustrie bietet eine kombinierte Lösung aus LH-Brückenkran und BZD-Auslegerkran mit einheitlichem elektrischen Steuerungssystem für den synchronisierten Zweikran-Betrieb.

Kran für die Inspektionsanlagen-Montage – Präzisionsausrichtung und Kriechgang-Steuerung

Halbleiter-Inspektionsanlagen (Elektronenmikroskope/Optische Inspektion/Durchstrahlungsprüfung (RT)/Wafer-Prober) zeichnen sich durch extrem empfindliche optische bzw. elektronenoptische Systeme aus, die besonders vibrations- und stoßempfindlich sind. Bei der Montage von Inspektionsanlagen muss die Ausrichtgenauigkeit der Kernkomponenten (Elektronenkanone/Objektiv/Inspektionskammer) im Bereich von 0,1 mm liegen; die Hubgeschwindigkeit benötigt einen Kriechgang (0,1–0,3 m/min) sowie eine Tippfunktion (0,5 mm Bewegung pro Tastendruck).

Empfohlenes Modell: Reinraum-Brückenkran LH 3–10 t + KBK-Leichtkransystem 0,5–2 t (arbeitsplatzbezogene Leichtlast-Präzisionsförderung). Das KBK-System wird unterhalb des Hauptträgers des LH-Brückenkrans installiert und ist speziell für die Feinpositionierung kleiner Bauteile ausgelegt – das Bedienpersonal kann das Lastaufnahmemittel direkt manuell in Millimeterbereichen verstellen, ohne die elektrische Feinbewegung des Hauptkrans zu aktivieren. Diese Doppelkran-Struktur setzt sich in Montagehallen für Halbleiter-Inspektionsanlagen zunehmend durch.

Konfigurationspunkte: ① Frequenzumrichter-Feinfahrt – minimale stabile Geschwindigkeit 0,1 m/min, Geschwindigkeitsschwankung ≤±5 %; ② Schwingungsdämpfung – zwischen Kranschiene und Werkshallenstruktur werden Schwingungsdämpfungspads aus Gummi montiert (Vibration an der Geräteaufstellfläche ≤0,5 mm/s); ③ Reinheitsklassen-Upgrade – der HEPA-Entlüfter erzeugt einen Überdruck im Inneren des Hebezeugs (verhindert Partikeleintritt); Filtereffizienz H14 (≥99,995 %). Die KBK+LH-Doppelkran-Lösung von Kelude Schwerindustrie ist bereits in mehreren Montagehallen von Halbleiter-Inspektionsanlagen-Herstellern im Einsatz; die Betriebsgenauigkeit erfüllt die 0,1-mm-Ausrichtanforderungen.

Kran für die Lithografiemaschinen-Montage – höchste Reinheit und Schwingungsfreiheit

Lithografiemaschinen (Lithography Equipment) sind die wertvollsten (mehrere hundert Millionen bis über eine Milliarde EUR pro Einheit) und präzisesten Anlagen der Halbleiterfertigung. Die Montagehalle für Lithografiemaschinen muss die Reinheitsklasse ISO-Klasse 4 erfüllen (Partikel ≤352/m³ bei 0,5 µm) und unterliegt strengen Kontrollen von Vibration, Temperatur und Luftfeuchtigkeit. Die Kernkomponenten der Lithografiemaschine – das Projektionsobjektiv (Projection Lens) und der Wafer-Tisch (Wafer Stage) – wiegen 500–2.000 kg; die Ausrichtgenauigkeit bei der Montage liegt im Mikrometerbereich.

Empfohlenes Modell: Ultra-Reinraum-Brückenkran LH 5–10 t + kundenspezifisches schwingungsgedämpftes Lastaufnahmemittel. Der Brückenkran muss lediglich den Hauptmontagebereich der Lithografiemaschine abdecken (in der Regel 30 m × 20 m); die Hubhöhe beträgt 8–12 m. Besondere Anforderungen: ① Die gesamte Maschine erhält eine elektropolierte SUS316L-Oberfläche (Ra ≤0,4 µm, verhindert Partikelanhaftung); ② alle Getriebe verwenden magnetische Kupplungsantriebe (berührungslose Kraftübertragung, null Verschleißpartikel); ③ die Kranschiene wird als präzisionsgewalzte Edelstahl-Führungsschiene ausgeführt (Oberflächenrauheit Ra ≤0,8 µm), die Laufräder erhalten eine Keramikbeschichtung.

Preisreferenz: Ultra-Reinraum-Brückenkran LH 10 t/20 m in elektropolierter SUS316L-Ausführung ca. 44.500–82.600 EUR pro Stück. Das magnetische Kupplungsantriebssystem ist als optionale Aufrüstung verfügbar und kostet ca. 6.400–12.700 EUR pro Stück zusätzlich. Kelude Schwerindustrie hat bereits für führende Hersteller von Lithografiemaschinen in China Ultra-Reinraumkrane geliefert; die gemessene Partikelemission im Betrieb beträgt ≤0,05 µg/cm² (besser als die Anforderungen der ISO-Klasse 4).

Vergleichstabelle der Krankonfigurationen für die Halbleiteranlagenfertigung

Kelude Industriekrane – Effiziente und sichere Hebelösungen

Kelude Heavy Industry hat sich auf die Entwicklung und Fertigung von Industriekranen spezialisiert. Unsere Produktpalette umfasst Brückenkrane, Portalkrane, Auslegerkrane sowie Elektroseilzüge und wurde für vielfältige Anwendungen in der Industrie konzipiert. Wir bieten maßgeschneiderte Hebelösungen, die auf die spezifischen Anforderungen Ihrer Produktion zugeschnitten sind.

Robuste Brückenkrane für höchste Ansprüche

Unsere Brückenkrane sind das Herzstück vieler Fertigungslinien. Sie überzeugen durch hohe Tragfähigkeit, präzise Steuerung und eine auf Langlebigkeit ausgelegte Konstruktion. Ob für leichte Lasten oder Schwerlastanwendungen – die Krane von Kelude bieten die nötige Zuverlässigkeit für einen kontinuierlichen Betrieb.

Die Krane sind als Einzel- oder Zweiträgerausführung verfügbar. Eine niedrige Bauhöhe (low-headroom) ermöglicht eine optimale Raumausnutzung in Ihrer Halle. Alle Modelle entsprechen den gängigen Sicherheitsstandards wie DIN 15018 und FEM 1.001.

Vielseitige Portalkrane für flexible Einsatzorte

Portalkrane von Kelude sind die ideale Wahl für den Außenbereich oder für Hallen, in denen keine Kranbahnen installiert sind. Sie sind mobil oder ortsfest einsetzbar und eignen sich hervorragend für den Umschlag von Gütern, in der Logistik oder auf Bauhöfen.

Dank der robusten Fahrwerke und der präzisen Steuerungstechnik sind unsere Portalkrane auch für anspruchsvolle Einsätze mit schweren Lasten bestens gerüstet. Optional sind Ausführungen mit Drehkranz oder für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen (explosion-proof) erhältlich.

Präzise Auslegerkrane für den Arbeitsplatz

Auslegerkrane von Kelude sind die perfekte Ergänzung für Ihren Arbeitsplatz. Sie ermöglichen das einfache und schnelle Handhaben von Lasten direkt an der Maschine oder am Montageplatz. Die Krane sind als Säulen- oder Wandschwenkkrane erhältlich und zeichnen sich durch eine kompakte Bauweise und hohe Flexibilität aus.

Die Auslegerkrane sind in verschiedenen Ausführungen und Tragfähigkeiten verfügbar und können individuell an Ihre räumlichen Gegebenheiten angepasst werden. Eine optionale Ausstattung mit Elektroseilzug oder Kettenzug ist möglich.

Leistungsstarke Elektroseilzüge für den Kranbetrieb

Unsere Elektroseilzüge sind das Herzstück eines jeden Krans. Sie überzeugen durch hohe Hubgeschwindigkeiten, präzise Positionierung und eine lange Lebensdauer. Die Züge sind in verschiedenen Baugrößen und mit unterschiedlichen Hubhöhen und Tragfähigkeiten erhältlich.

Die Elektroseilzüge von Kelude sind mit moderner Frequenzumrichtertechnik ausgestattet, die ein sanftes Anfahren und Bremsen ermöglicht. Dies schont Material und Kran und erhöht die Sicherheit im täglichen Betrieb.

Häufig gestellte Fragen (FAQ)

F: Welche Tragfähigkeiten bieten Ihre Krane an?
A: Unsere Standardkrane decken einen Bereich von 1 t bis 50 t ab. Für spezielle Anforderungen fertigen wir auch Sonderkonstruktionen mit höheren Tragfähigkeiten.

F: Bieten Sie auch Krananlagen für den Explosionsschutz an?
A: Ja, wir bieten spezielle Ausführungen für explosionsgefährdete Bereiche an, die den Anforderungen der ATEX-Richtlinie entsprechen.

F: Wie lange ist die Lieferzeit für einen Standardkran?
A: Die Lieferzeit für unsere Standardkrane beträgt in der Regel 8 bis 12 Wochen nach Auftragsbestätigung, abhängig von der Ausführung und Auslastung.

F: Bieten Sie auch Wartungs- und Inspektionsservices an?
A: Ja, wir bieten umfassende Wartungs- und Inspektionsservices für alle unsere Krane an, um einen sicheren und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten.

Kontaktieren Sie uns für individuelle Lösungen

A: Benötigen Sie eine maßgeschneiderte Kranlösung oder haben Sie Fragen zu unseren Produkten? Unser Vertriebsteam berät Sie gerne persönlich. Kontaktieren Sie uns noch heute – wir finden die passende Lösung für Ihre Anforderungen.

Schlüsselparameter für Krane in der Halbleiterindustrie

Servicevorteile von Kelude für die Halbleiterindustrie

① Speziallinie für Reinraumkrane: Kelude Schwerindustrie unterhält eine eigene Fertigungslinie für Reinraumkrane. Der Gesamtprozess – vom Wareneingang des Rohmaterials bis zur Endmontage – erfolgt in einer Montagehalle der ISO-Klasse 7, sodass die Partikelgrenzwerte bereits vor Auslieferung eingehalten werden. Zahlreiche Hersteller von Halbleiteranlagen (Ätzmaschinen, Dünnschichtabscheidung, Inspektionsgeräte, Lithografiemaschinen) im Inland wurden bereits mit maßgeschneiderten Reinraumkran-Lösungen beliefert.

② Schlüsselfertige Zertifizierungsdienstleistungen: Von der Konzeptplanung bis zur Montageabnahme bietet Kelude Schwerindustrie umfassende Dokumentation und Unterstützung an – darunter Reinheitstests (ISO 14644-14), Materialprüfungen, Antistatiktests und Sicherheitszertifizierungen. Damit erfüllen Anwender problemlos die Lieferantenaudits der Halbleiterausrüster.

③ After-Sales und Umbau: Das Austauschintervall für PFPE-Fett bei Reinraumkranen beträgt 2–3 Jahre (doppelt so lang wie bei herkömmlichem Fett). Kelude Schwerindustrie bietet regelmäßige Wartungspakete an – inklusive Partikel-Nachmessung, Fettwechsel und Austausch der HEPA-Filterelemente – und senkt so die langfristigen Betriebskosten. Auch der Umbau von Standardkranen auf Reinraumkrane gehört zu den Kernkompetenzen von Kelude.

Häufige Fragen (FAQ)