Reinraumkran für Chipfabriken: Wafer, Lithografie & Montage

Kurzfassung: Kelude Schwerindustrie bietet Konfigurationslösungen für Hebezeuge in der Chip- und Halbleiterfertigung – abgedeckt werden die vier Fertigungsbereiche Waferherstellung, Lithografie/Ätzen, Packaging sowie Prüf- und Hilfsanlagen. Die Lösungen sind ausgelegt für Tragfähigkeiten von 0,125 bis 10 t und Spannweiten von 6 bis 24 m. Die Investition für die Hebegeräte der Gesamtanlage liegt bei ca. 20.000 bis 300.000 EUR. Im Waferbereich kommt eine Reinraumausführung KBK (0,125–0,5 t) zum Einsatz, im Lithografiebereich ein Edelstahl-Elektrohebezeug in Reinraumausführung (0,25–1 t), im Packaging-Bereich ein antistatischer Kran (1–5 t) und im Hilfsbereich ein LD-Einträger (3–10 t). Damit werden die extremen Anforderungen an Reinheit der ISO-Klasse 3 bis 5 und Mikrovibrationskontrolle in der Halbleiterfertigung erfüllt.

Kranlösungen für die Chip- und Halbleiterfertigung

Waferherstellung | Lithografie/Ätzen | Packaging | Prüfbereich

Die Halbleiterfertigung stellt die höchsten Anforderungen an Reinheit (Klasse 100), Mikrovibrationsschutz und Antistatik in der gesamten Industrie.

Chip/HalbLeiterFertigungKranLösung——Wafer/Fotolithografie/Gehäusetechnik/TestenVierter Fertigungsabschnitt

Bereich 1: Waferherstellung

• Tragfähigkeit: 0,5 t – 3 t, Elektrohebezeug in Reinraumausführung

• Reinheit Klasse 100 / staubfrei

• Stoßfest / geringe Vibration

• Edelstahl / antistatisch

Reinheit Klasse 100 | Stoßfest | Staubfrei

Bereich 2: Lithografie/Ätzen

• Tragfähigkeit: 2 t – 10 t, Brückenkran in Reinraumausführung

• Präzise Geräteinstallation

• Mikrovibrationskontrolle

• Feinbewegung mit Frequenzumrichter / Positionierung

Präzisionsmontage | Mikrovibration | Feinbewegung

Bereich 3: Packaging

• Tragfähigkeit: 1 t – 5 t, LD-Typ / Reinraum-Hebezeug

• Heben für die Wartung der Ausrüstung

• Werkzeugwechsel / Transport

• Reinheit 10K – 100K

Wartung | Werkzeugwechsel | Reinraum

Bereich 4: Prüfbereich

• Tragfähigkeit: 0,5 t – 2 t, Auslegerkran / Hebezeug

• Wartung der Prüfköpfe

• Kompakte Platzverhältnisse

• Reinraumtauglich

Prüfwartung | Kompakt | Reinraumtauglich

Auswahlparameter der vier Fertigungsbereiche im Vergleich

Kelude Schwermaschinen: Zuverlässige Industriekrane für anspruchsvolle Anwendungen

Kelude Schwermaschinen hat sich auf die Entwicklung und Fertigung von Industriekranen spezialisiert, die für den Dauereinsatz unter anspruchsvollen Bedingungen ausgelegt sind. Unser Sortiment umfasst Brückenkrane, Portalkrane und Elektroseilzüge, die in Fertigungslinien, Lagerhallen und Logistikzentren weltweit im Einsatz sind. Jede Kranlösung wird nach den spezifischen Anforderungen des jeweiligen Einsatzorts konstruiert und gefertigt.

Robuste Brückenkrane für höchste Produktivität

Unsere Brückenkrane sind für hohe Hubkapazitäten und große Spannweiten konzipiert. Sie bieten eine außergewöhnliche Stabilität und Präzision bei der Lastpositionierung. Die Konstruktion nach DIN 15018 gewährleistet eine hohe Betriebsfestigkeit und eine lange Lebensdauer. Optional sind diese Krane mit Frequenzumrichter-Steuerungen für sanfte Anfahr- und Stoppvorgänge sowie mit speziellen Hubwerken für den Schwerlastbetrieb ausgestattet.

Vielseitige Portalkrane für flexible Einsatzbereiche

Portalkrane von Kelude eignen sich ideal für den Umschlag von Gütern im Freien sowie in Produktions- und Montagehallen. Sie sind in verschiedenen Ausführungen verfügbar, darunter als Vollportal- oder Halbportalvariante. Die mobile oder spurgebundene Fahrweise ermöglicht eine optimale Anpassung an die räumlichen Gegebenheiten. Die Krane werden gemäß EN 13000 gefertigt und bieten höchste Sicherheitsstandards für den täglichen Betrieb.

Leistungsstarke Elektroseilzüge für präzises Handling

Die Elektroseilzüge von Kelude zeichnen sich durch eine kompakte Bauweise und eine hohe Hubgeschwindigkeit aus. Sie sind als Einzelkomponente oder als Teil eines Kran systems erhältlich. Die Steuerung erfolgt über eine robuste Funkfernbedienung oder eine hängende Steuertaste. Die Ausführung mit Feinstufen- oder Zweigeschwindigkeits-Getriebe ermöglicht ein exaktes Positionieren der Last. Alle Modelle entsprechen der ISO 4306 und sind für den anspruchsvollen Industrieeinsatz zertifiziert.

Individuelle Lösungen und umfassender Service

Über die Standardmodelle hinaus entwickeln wir kundenspezifische Kranlösungen, die exakt auf Ihre Prozessanforderungen zugeschnitten sind. Unser Ingenieurteam unterstützt Sie von der ersten Konzeptplanung bis zur Inbetriebnahme vor Ort. Wir bieten zudem ein umfassendes Servicepaket mit Wartungsverträgen, Ersatzteilversorgung und Modernisierungsmaßnahmen, um die Verfügbarkeit Ihrer Anlagen langfristig zu sichern.

Technische Daten im Überblick

Die folgende Tabelle zeigt die wichtigsten technischen Parameter unserer gängigen Kranbaureihen. Die Werte können je nach Konfiguration und Einsatzbedingungen variieren.

Modell Tragfähigkeit Spannweite / Ausladung Hubhöhe Arbeitszyklus
QD32/5t 32.000 kg 22,5 m 16 m A5 (DIN 15018)
QE20/5t 20.000 kg 19,5 m 14 m A4 (DIN 15018)
LH10t 10.000 kg 16,5 m 9 m A5 (DIN 15018)

Häufig gestellte Fragen (FAQ)

F: Wie lange ist die Lieferzeit für einen Standard-Brückenkran?

A: Die Lieferzeit für unsere Standard-Brückenkrane beträgt in der Regel 8 bis 12 Wochen ab Bestellbestätigung, abhängig von der aktuellen Auslastung und der Komplexität der Konfiguration.

F: Bieten Sie auch Wartungsverträge für bestehende Krane an?

A: Ja, wir bieten maßgeschneiderte Wartungsverträge an, die regelmäßige Inspektionen, vorbeugende Instandhaltung und bevorzugten technischen Support umfassen. Sprechen Sie uns gerne an.

F: Können Ihre Krane mit Funkfernsteuerungen ausgestattet werden?

A: Ja, alle unsere Kranmodelle können optional mit modernen Funkfernsteuerungen ausgestattet werden, die eine präzise und sichere Bedienung aus sicherer Entfernung ermöglichen.

F: Welche Sicherheitsnormen werden bei der Fertigung eingehalten?

A: Unsere Krane werden gemäß den einschlägigen internationalen und europäischen Normen gefertigt, darunter DIN 15018, EN 13000 und ISO 4306. Zudem erfüllen alle elektrischen Komponenten die Anforderungen der EN 60204-32.

F: Ist eine Anpassung der Spannweite oder Hubhöhe an meine Halle möglich?

A: Selbstverständlich. Als Sonderanfertiger bieten wir eine Vielzahl von Anpassungsoptionen an. Unsere Ingenieure prüfen Ihre spezifischen Anforderungen und erstellen ein individuelles Angebot.

F: Wie gestaltet sich der Kundendienst nach der Installation?

A: Unser Kundendienst steht Ihnen auch nach der Inbetriebnahme mit Rat und Tat zur Seite. Wir bieten schnelle Ersatzteillieferungen, technische Hotline und bei Bedarf auch Vor-Ort-Einsätze durch qualifizierte Servicetechniker.

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Parameter PositionWafer FertigungLithografie/ÄtzenMontagebereichTesten Montagebereich
empfohlenes ModellReinraum-HubwerkReinraumausführung BrückenbauartLD-Typ/Reinraum HebezeugAuslegerkran/Hebezeug
Tragfähigkeit0.5t~3t2t~10t1t~5t0.5t~2t
ReinheitsklasseKlasse 100Klasse 100/Klasse 1000Klasse 10000Klasse 10000
besondere Anforderungenstoßfest/niedrig VibrationMikrovibrationskontrolleWartung der Ausrüstungkompakt/flexibel
Kelude-Lösungstoßfest ReinraumMikrovibrationskontrolleReinraum Wartung der AusrüstungKompakt-Reinraum
200.000–3 Mio. €
Gesamtinvestition der Anlage
0,125–10 t
Tragfähigkeit
6–24 m
Spannweite
A3–A4
Triebwerksgruppe
ISO-Klasse 3–5
Reinheit
50.000–500.000 Stück/Monat
Wafer-Produktionskapazität

Anforderungen an Krane im Reinraum der Halbleiterfertigung

Die Waferfertigung und der Lithografiebereich arbeiten in Reinräumen der Klasse 100 (ISO 5). Die Reinraumkrane von Kelude sind mit einer vollständig geschlossenen Edelstahlkonstruktion und einem schmierstoffarmen Schmiersystem ausgestattet; die Führungsschienen sind korrosionsgeschützt. Bei der Installation hochempfindlicher Geräte wie Lithografie- und Ätzmaschinen ist eine präzise Vibrationskontrolle unerlässlich.

Kelude – Servicevorteile für die Halbleiterindustrie

Kelude ist seit vielen Jahren auf Hebegeräte für die Halbleiterfertigung spezialisiert. Für Waferfabriken, Gehäusebetriebe und Maskenhersteller liefern wir Präzisionslösungen, die die Anforderungen der ISO-Klasse 3–5 für ultrareine Umgebungen erfüllen. Unsere Produkte sind nach Reinraumklasse 100 zertifiziert und auf Mikrovibrationskontrolle getestet. Langjährige Montageerfahrung mit KBK-Systemen im Reinraum ist unser Markenzeichen.

KBK-Lösung für Waferfabriken nach ISO-Klasse 3
In Reinräumen der ISO-Klasse 3 (max. 1.000 Partikel ≥ 0,1 µm pro m³) in 300-mm-Waferfabriken sind die Anforderungen an die Partikelemission von Hebegeräten extrem hoch. Die Ultra-Reinraum-KBK-Systeme von Kelude verwenden vollständige SUS316L-Edelstahlschienen mit elektropolierter Oberfläche (Ra ≤ 0,4 µm), hermetisch geschlossene Motoren mit HEPA-Filterabluft sowie geräuscharme Polyurethan-Laufräder mit Vakuum-Reinigungseinrichtung für die Schienen. Alle beweglichen Teile werden im ISO-Klasse-3-Reinraum gemessen – die Partikelemission beträgt ≤ 1 Partikel/Minute (≥ 0,1 µm).
Mikrovibrationskontrolle im Lithografiebereich
Lithografiemaschinen (Step-and-Scan, Strukturbreiten ≤ 7 nm) reagieren äußerst empfindlich auf Umgebungsvibrationen – die Boden-Schwinggeschwindigkeit darf 50 µm/s nicht überschreiten. Kelude setzt im Lithografiebereich auf eine freitragende KBK-Konstruktion: Die KBK-Anschlagpunkte sind nicht mit der Doppelbodenstruktur über dem Lithografiebereich verbunden, sondern leiten die Lasten über unabhängige Dachträger ab. Das Elektrohebezeug verwendet einen bürstenlosen DC-Motor (keine Kohlebürsten-Partikel) mit präziser Frequenzumrichtersteuerung; die Vibration beim Heben und Verfahren beträgt ≤ 25 µm/s.
Antistatische Transportlösung für Gehäusebetriebe
In den Test- und Verpackungsbereichen von Halbleiter-Gehäusebetrieben sind antistatische Hebegeräte erforderlich. Die KBK-Systeme von Kelude für diesen Bereich verwenden leitfähige Polyurethan-Laufräder (spezifischer Widerstand ≤ 10⁵ Ω·cm) mit vollständiger Potenzialausgleichs-Erdung (Erdungswiderstand ≤ 4 Ω) sowie antistatisch beschichtete Hängetaster. Die KBK-Schienen werden entlang der Testhandler und Verpackungsmaschinen angeordnet und unterstützen den Transport von Paletten und Gurtbändern für verschiedene Gehäuseformen (BGA, QFP, SOP usw.).

Häufige Fragen (FAQ)

F: Welche Montageanforderungen gelten für ein KBK-System in einem Reinraum der ISO-Klasse 3 in einer Halbleiterfabrik?
A: Die Reinheitsanforderungen an Montage und Bau im Reinraum der ISO-Klasse 3: Alle Bauteile, die den Reinraum betreten, müssen einer Vakuumreinigung, einer IPA-Wischreinigung und einer doppelten Vakuumverpackung unterzogen werden. Das Montagepersonal trägt vollständige Bunny-Suit-Schutzkleidung und verwendet spezielle Reinraumwerkzeuge (aus Edelstahl, ohne Schmieröl). Während der gesamten Montage bleiben die FFU-Filter des Reinraums in Betrieb. Nach Abschluss der Arbeiten erfolgt eine Partikelzählung zur Verifizierung (Partikel ≥ 0,1 μm ≤ 1.000 Stück/m³). Kelude verfügt über die Qualifikation und Erfahrung für KBK-Montagen in Reinräumen der ISO-Klasse 3.
F: Welche Normen gelten für die Mikrovibrationskontrolle in der Lithografie?
A: Die Vibrationsgrenzwerte für moderne Lithografiemaschinen (ASML NXE:3400C EUV) liegen bei ≤25 μm/s in vertikaler Richtung (1–100 Hz) und ≤50 μm/s in horizontaler Richtung (1–100 Hz). Das KBK-Lithografie-Konzept von Kelude reduziert die Betriebsvibrationen der KBK-Anlage auf ≤25 μm/s – durch eine unabhängige Hängekonstruktion, die nicht mit dem Doppelboden verbunden ist. Vor der Montage wird eine 30-tägige Basislinien-Erfassung der Vibrationen durchgeführt; nach der Montage erfolgt eine erneute Messung der KBK-Betriebsvibrationen, um die Einhaltung der Grenzwerte im Lithografiebereich sicherzustellen.
F: Welche Anforderungen gelten für den ESD-Schutz von KBK-Systemen in der Halbleiter-Montagehalle?
A: Der ESD-Schutz in der Halbleiter-Montagehalle erfolgt gemäß ANSI/ESD S20.20 und IEC 61340-5-1: Alle leitfähigen Bauteile des KBK-Systems sind zu erden (Erdungswiderstand ≤ 4 Ω), die elektrostatische Dämpfung an Arbeitsflächen darf 1 s nicht überschreiten (von 1000 V auf 100 V). Kelude setzt bei KBK-Systemen für die Halbleiter-Montage auf leitfähige Polyurethan-Räder (10⁵ Ω·cm), antistatische Drahtseile aus Edelstahl sowie ableitfähige Hängetaster und Kabel. Die Erkennung des Erdungswiderstands des Gesamtsystems erfolgt monatlich.
F: Wie arbeiten Krane für die Halbleiterfertigung mit dem AMHS-System zusammen?
A: Das AMHS-Brückenkransystem (OHT-Autotransport) der Waferfabrik und der KBK-Kran arbeiten unter demselben Deckensystem zusammen. Das KBK-System von Kelude hält einen Sicherheitsabstand zum AMHS ein (horizontal ≥ 500 mm, vertikal ≥ 300 mm). Im KBK-Bereich ist ein Lichtvorhang mit Verriegelung installiert – wenn der OHT-Brückenkran passiert, stoppt der KBK-Kran automatisch. Das Lastaufnahmemittel des KBK und das Greifmechanismus des OHT-Brückenkrans verwenden unterschiedliche FOUP-Schnittstellen (Front-Opening-Unified-Pod-Standard), um Verwechslungen zu vermeiden. Beide Systeme werden zentral über das MCS (Materialkontrollsystem) gesteuert.

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